用于脆硬性材料的超精密磨削,可磨削光學鏡片,模壓用鎢鋼模具,光學玻璃模具,柱銷,套筒等。
可加工工件口徑100mm,表面粗糙度Ra<15nm,面形精度PV<0.3μm。
可加工柱面,球面,錐面,高陡度非球面,鷗翼狀非球面,自由曲面(離軸、柱面)等。
可磨削材料包括:鎢鋼、光學玻璃、石英玻璃、陶瓷等。
超精密氣體靜壓主軸(工件軸)
超精密靜壓轉臺(B軸)
超精密液體靜壓導軌(X、Z軸)
高轉速氣浮磨削軸(砂輪軸)
X/Z軸均采用直線電機驅動,全閉環控制
PMAC可編程控制器
配置兩套光學監控CCD
在線動平衡調整系統